無(wú)塵室主要是由下列各項系統所組成的
瀏覽次數：1320發(fā)布日期：2022-03-15
無(wú)塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
無(wú)塵室最主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱(chēng)之為無(wú)塵室。按照國際慣例，無(wú)塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來(lái)規定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當然這個(gè)標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì )產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學(xué)構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。
無(wú)塵室構成：
無(wú)塵室的構成是由下列各項系統所組成，在所組成的系統分子中是缺一不可的，否則將無(wú)法構成一完整且品質(zhì)良好的無(wú)塵室：
1、天花板系統：包括吊桿、綱)、天花板格子梁；
2、空調系統：包括空氣艙、過(guò)濾器系統、風(fēng)車(chē)等；
3、隔墻板(Partitional wall)：包括窗戶(hù)、門(mén)；
4、地板：包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面；
5、照明器具：包括日光燈、黃色燈管等；
6、無(wú)塵室之建筑主體構造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無(wú)論是何種構造，必須滿(mǎn)足如下之條件：
?、?、不會(huì )因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕；
?、?、不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著(zhù)粒子；
?、?、吸濕性??；
?、?、為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高。
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