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無(wú)塵潔凈室(Clean Room)，亦稱(chēng)為無(wú)塵室，潔凈室或無(wú)塵車(chē)間。它是污染控制的基礎。沒(méi)有無(wú)塵潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2里面，無(wú)塵潔凈室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。

氣流→初效空氣處理→空氣調節→中效空氣處理→風(fēng)機加壓送風(fēng)→凈化送風(fēng)管道→高效送風(fēng)口→潔凈室→帶走塵埃（細菌） → 回風(fēng)夾道→新風(fēng)、初效空氣處理。

重復以上過(guò)程，即可達到凈化目的。

技術(shù)參數

換氣次數：十萬(wàn)級10－15次/小時(shí)；

萬(wàn)級15－25次/小時(shí)；

千級50－52次/小時(shí);

百級操作臺斷面風(fēng)速0.25-0.35m/s；

壓差：主車(chē)間對相鄰潔凈房間≥5Pa；潔凈房間對非潔凈區≥10Pa；

溫度:冬季>16℃±2℃；夏季 <26℃±2℃；

新風(fēng)補充量：總送風(fēng)量的20%－30%；

結構材料

1.潔凈室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化的氧化鋁型材制造。門(mén)采用凈化密閉門(mén)，窗采用鋁合金玻璃固定窗。

2.地面采用環(huán)氧自流平或高級耐磨塑料潔凈地板。

3.凈化通風(fēng)管道選用鍍鋅薄鋼板制作，并采用“PEF”阻燃型的保溫板做保溫。